ربات‌های AGV چگونه در کارخانه‌های نیمه‌هادی کار می‌کنند؟

یک خط تولید نیمه‌هادی کامل، فوتولیتوگرافی، اچینگ، رسوب فیلم، بسته‌بندی و آزمایش را پوشش می‌دهد. تمام فرآیندها در کارگاه‌های کاملاً بسته و تمیز انجام می‌شوند، جایی که حرکت مکرر کارکنان به شدت محدود می‌شود تا از آلودگی گرد و غبار و نوسانات پارامترهای محیطی جلوگیری شود. در این حالت، وسیله نقلیه هدایت خودکار به طور کامل جایگزین چرخ دستی‌های دستی می‌شود تا تمام وظایف حمل و نقل مواد، از جمله جعبه‌های ویفر، حامل‌های زیرلایه و تحویل ابزار دقیق را انجام دهد.

این دستگاه‌های خودکار، طراحی یکپارچه و کاملاً آب‌بندی‌شده‌ای را اتخاذ می‌کنند که ساختارهای مکانیکی در معرض دید را که به راحتی گرد و غبار را به دام می‌اندازند، از بین می‌برد. آن‌ها با انتشار گرد و غبار صفر، سر و صدای کم و حداقل لرزش کار می‌کنند و کاملاً با استانداردهای تولید اتاق تمیز مطابقت دارند. اکثر کارخانه‌های نیمه‌هادی، پایدار و قابل اعتماد را ترجیح می‌دهند. AGV مغناطیسیاین دستگاه با ساختاری ساده و جمع و جور که به سختی پسماند جمع می‌کند، از میان نوارهای مغناطیسی زمینی عبور می‌کند و محیط اتاق تمیز را پایدار نگه می‌دارد. برخلاف تجهیزات ناوبری لیزری که اغلب به دلیل لنزهای غبارآلود از کار می‌افتند، AGV مغناطیسی کاملاً با تولید تمیز با استاندارد بالا در درازمدت سازگار است و از عملکرد پایدار روزانه ربات‌های AGV در کارگاه‌های نیمه‌هادی پشتیبانی می‌کند.

فرآیندهای تولید نیمه‌هادی ارتباط نزدیکی با هم دارند و نیاز به دقت میلی‌متری در موقعیت‌یابی و زمان‌بندی حمل و نقل دارند. حتی انحرافات کوچک باعث خرابی در اتصال و اختلال در کل ریتم تولید می‌شود. مناسب برای کارگاه‌های با دقت بالا، راهنمای زمین مغناطیسی AGV در امتداد مسیرهای مغناطیسی از پیش دفن شده با مسیرهای ثابت حرکت می‌کند و از عدم انحراف در حین کار و اتصال دقیق با هر ایستگاه کاری اطمینان حاصل می‌کند.

دستگاه هدایت مغناطیسی زمین AGV به طور خودکار با ریتم‌های تولید از پیش تعیین شده کار می‌کند. این دستگاه ویفرها را از انبار مواد جمع‌آوری کرده و آنها را به ترتیب به ایستگاه‌های لیتوگرافی، پرداخت، بازرسی و سایر ایستگاه‌های پردازش تحویل می‌دهد تا از تأمین مداوم مواد اطمینان حاصل شود. پس از پردازش، به طور خودکار محصولات نیمه‌تمام و نهایی را به مرحله بعدی منتقل می‌کند. کل فرآیند نیازی به عملیات دستی ندارد. شروع و توقف خودکار، حرکت با سرعت ثابت و موقعیت‌یابی دقیق به طور مؤثر از برخورد مواد و جابجایی موقعیت ناشی از خطای انسانی جلوگیری می‌کند و گردش مواد در کارگاه را منظم و مرتب نگه می‌دارد تا با تولید بی‌وقفه نیمه‌رساناها مطابقت داشته باشد.

کارگاه‌های بزرگ نیمه‌هادی معمولاً چندین واحد خودروی هدایت خودکار را برای خدمت‌رسانی به مناطق مختلف تولید مستقر می‌کنند. یک سیستم برنامه‌ریزی هوشمند یکپارچه برای جلوگیری از تداخل مسیرها و ازدحام کانال‌ها ضروری است. این سیستم به صورت پویا وظایف جابجایی را بر اساس پیشرفت تولید در زمان واقعی توزیع می‌کند و مسیرهای رفت و آمد و توالی‌های کاری را به طور منطقی تنظیم می‌کند تا از عملکرد مشترک و کارآمد چندین دستگاه پشتیبانی کند.

در تولید روزانه، ربات‌های AGV به طور کامل به عملیات بدون مراقبت دست می‌یابند. آنها به طور مستقل پر کردن مجدد مواد، بازیافت حامل خالی و تحویل محصول نهایی را انجام می‌دهند و در صورت عدم کفایت برق، خود را به طور خودکار شارژ می‌کنند. این سیستم با ترکیب ناوبری دقیق AGV Magnetic Ground Guide و عملکرد پایدار AGV Magnetic استاندارد، یک سیستم لجستیک هوشمند بدون گرد و غبار، با دقت بالا و راندمان بالا ایجاد می‌کند. این حالت عملیاتی بالغ، الزامات سختگیرانه کارخانه‌های نیمه‌هادی برای تمیزی، دقت و کارایی را به طور کامل برآورده می‌کند و به محبوب‌ترین راه‌حل جابجایی بدون سرنشین برای صنعت نیمه‌هادی تبدیل شده است.